일반뉴스 EV그룹, 대량생산용 마스크리스 리소그래피 시스템 ‘리소스케일’ 출시

[헬로티] MEMS, 나노 기술, 반도체 제조용 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 공급사인 EV그룹(이하 EVG)이 오늘 자사의 MLE(Maskless Exposure) 기술의 첫 번째 제품 플랫폼인 ‘리소스케일(LITHOSCALE)’ 마스크리스 노광 시스템을 출시한다고 밝혔다. 리소스케일은 EVG가 첨단 패키지, MEMS, 생체의료, IC 회로 기판 제조 등 높은 수준의 유연성이나 잦은 제품 변화를 요구하는 시장과 애플리케이션의 리소그래피 수요에 대응하기 위해 개발됐다. 기존의 마스크 기반 리소그래피 기술은 많은 분야에서는 그다지 실용적이지 않다. 특히 신제품이나 맞춤형 솔루션의 제공을 위해 신속한 프로토타이핑과 시험이 필요하여, 새로운 마스크 세트를 제작, 시험 및 재작업하는 데 드는 비용과 시간이 늘어나기 쉬운 분야에서는 더욱 그렇다. 뿐만 아니라 첨단 패키징 기술의 경우, 기존 후공정 리소그래피 시스템은 비선형 고차 기판 왜곡 및 다이 시프트 관련 이슈들로 어려움을 겪고 있으며, 특히 팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징(FOWLP)에서 웨이퍼 상의 다이 재구성 이후가 특히 심하다. 리소스케일은 운영비용이 적게 들 뿐 아니라 설계 유연성, 뛰

• 조상록 기자
• 2020-09-23 20:03