[첨단 헬로티] ‘음성인식 비서 서비스’ 기술 성장과 더불어 정확한 음성 인식을 돕는 필수 반도체인 ‘MEMS(Micro Electro Mechanical System) 마이크로폰’이 주목받고 있다. MEMS 마이크로폰은 2002년에 미국의 놀스(Knowles)가 처음으로 선보였으며, 애플이 2012년 아이폰5에 ‘시리’ 서비스를 제공하기 위해 처음으로 놀스의 MEMS 마이크로폰을 채택하면서 시장이 급부상했다. 이후 스마트폰의 음성인식 비서 서비스 기능의 중요도가 커지면서, 보다 정확한 음성인식 기능을 제공하기 위해 아이폰의 MEMS 마이크로폰의 탑재 수가 점차 증가하고 있는 추세다. 아이폰6에 3개가 탑재됐던 MEMS 마이크로폰은 아이폰6S 시리즈부터 4개로 증가했다. 삼성전자, 샤오미, 화웨이, LG전자 등도 아이폰에 영향을 받아 스마트폰에 4개의 MEMS 마이크로폰을 탑재하기 시작했다. 또 태블릿과 스마트워치에서도 1~2개의 MEMS 마이크로폰을 탑재하고 있으며, 최근 가정용 인공지능 스피커가 급부상 함으로써 MEMS 마이크로폰의 수요가 빠르게 증가하고 있다. 더 나아가 향후 자율주행차에
[첨단 헬로티] 인피니언 테크놀로지스는 고성능 저잡음 MEMS 마이크로폰에 대한 요구에 대응하기 위해 패키지화된 실리콘 마이크로폰 시장에 진출한다. 인피니언의 듀얼 백플레이트 MEMS 기술을 적용한 아날로그 및 디지털 마이크로폰은 차별화된 70dB의 신호대 잡음비(SNR)를 제공한다. 또한 135dB 음압 레벨(SPL)일 때 10%로서 왜곡이 극히 낮다. 4mm×3mm×1.2mm MEMS 패키지로 제공되는 마이크로폰은 고음질 음향 레코딩과 원거리 음성 포착 등의 애플리케이션에 적합하다. 인피니언 전력 관리 및 멀티마켓 사업부의 센서 부문 책임자인 로널드 헬음(Roland Helm) 박사는 “패키징 파트너사들과 협력하여 대량 베어 다이(Bare Die) MEMS 및 ASIC 사업 모델을 확장할 수 있게 되었다. 인피니언은 계속해서 베어 다이 비지니스에 주력할뿐만 아니라, 이제 2개의 패키지화된 마이크로폰으로 저잡음 하이엔드 제품에 대한 요구를 충족할 수 있게 되었다”고 말했다. 현행 MEMS 마이크로폰 기술은 전하를 띄는 멤브레인과 전압 검출 백플레이트로 이루어진다. 인피니언의 듀얼 백플레이트 MEMS 기술은 두개의