오토메이션월드-대한민국 1등 산업매거진 '자동화기술'

일반뉴스 반도체 플라즈마 실시간 측정할 수 있는 센서 세계 최초 개발

[헬로티] 한국표준과학연구원(KRISS)이 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 양을 실시간으로 측정할 수 있는 센서를 세계 최초로 개발했다고 밝혔다. 가동 장비를 멈추지 않고도 사용할 수 있기에 반도체·디스플레이 장비 성능평가 및 제품 수율 향상에 도움이 될 것으로 기대된다. 이번 기술은 한국 원천 특허 등록을 기반으로 미국·유럽·중국·일본 등 4개국 특허 출원이 완료됐다. KRISS 연구팀은 기기에 센서가 내장된 ‘지능형 식각공정 장비’ 개발을 추진할 예정이며, 외산에 독점화된 반도체 장비 시장에서 기술혁신을 이룰 것으로 전망된다. 반도체 소자의 저전력화, 선폭 초미세화, 3차원 구조화에 따라 반도체 플라즈마 공정의 난도가 높아지고 있다. 플라즈마 공정은 반도체 회로 패턴 가운데 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분은 깎아내는 작업인 식각 공정에 사용된다. 식각 공정의 안정성은 반도체 생산성·수익성의 척도인 수율로 이어진다. 잘못된 식각 공정으로 회로 부분이 끊기거나 균일하지 않으면 생산된 반도체 칩에 오류가 생기고 원하는 동작을 수행할 수 없다. 지금까지는 공정 중 웨이퍼 영역의 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 센서가 없었다. 해외에서 독점적으

함수미 기자

2021-06-03 10:08

일반뉴스 맥심, 쉽고 빠른 회로 설계 위한 DC-DC 컨버터 툴 출시

[첨단 헬로티] 맥심 인터그레이티드 코리아가 고품질 전력 공급장치 개발을 돕는 EE-Sim® DC-DC 컨버터 툴을 출시했다. 이 툴은 설계자가 변경한 부품에 맞춰 회로를 재보정하고 설계간 차이점을 비교 및 평가한다. 파형 뷰어로 시뮬레이션 결과를 탐색하고 맞춤형 설계를 할 수 있으며 양방향으로도 활용이 가능하다. 인터페이스가 단순해 맞춤형 설계를 위한 학습이 필요 없다는 점도 특징이다. 부하, 소스, 시뮬레이터 매개 변수도 쉽게 수정할 수 있다. 맞춤형 그래프를 저장하고 회로도에 주석을 달면서 수정할 수 있어 문서 작업에도 효과적이다. 영국 전자부품 유통사 프리미어 파넬(Premier Farnell)의 글로벌 제품 매니저인 로스 멀가트로이드(Ross Murgatroyd)는 “기본적인 설계 요건을 맥심의 EE-Sim DC-DC 컨버터 툴에 간단히 입력하면 회로를 쉽게 설계하고 시뮬레이션할 수 있다. 회로 설계 후 설계자 필요에 따라 다른 부품으로 교환도 가능하다”고 말했다 맥심 인터그레이티드의 마크 포르투나토(Mark Fortunato) EE-Sim 팀 매니저는 “맥심의 DC-DC 컨버터 툴은 손쉬운 설계 수정, 여러

정가현 기자

2017-09-06 11:02

전문가 척박한 환경 견디는 저전력 위치 센서 사용 사례

원격 또는 배터리 구동식 기기를 비롯해 본질적인 안전회로가 필요한 시스템에서, 저전력 동작은 필수적인 요건이다. 압력, 액체, 먼지 또는 오염물에 대한 내성이 필요할 때, 포텐셔미터나 광학식 엔코더처럼 친숙한 위치 센서를 선택하는 것은 정교하고 값비싼 차폐 및 보호 기능이 없을 경우엔 적합하지 않다. 이때 저전력 모드를 제공하는 새로운 세대의 마그네틱 위치 센서를 도입한다면 설계 엔지니어들은 극한의 저전력 시스템일지라도 지원될 수 있는 정확하고 견고한 위치 감지 시스템을 설계할 수 있을 것이다. 다양한 이유로 인해 수많은 제품에서 저전력 위치 센서에 대한 필수조건이 증가하고 있다. 특히 가전 및 소비재의 경우에는, 정부 규제나 환경 프로그램으로 인해 더 높은 효율성을 추구하는 것이 촉구된다. 저전력 소모 특성은 전혀 다른 제품 분야에서도 다양한 이유로 요구되기도 한다. 원격 설치된 계측기를 비롯해 지하나 잠수 센서에서도, 저전력 특성은 경제성 및 동작을 위한 요건에 해당된다. 이러한 애플리케이션에서, 저전력은 극한 수준의 견고성을 갖추어야 한다. 광범위한 온도 범위, 높은 습도, 높은 압력 또는 오염원 등 때문에 동작 조건은 더 열악해 질 수 있다. 이 글은

2016-02-04 17:43