헬로티 조상록 기자 | ACM리서치가 자사 최초의 300mm싱글 웨이퍼 과산화황 혼합물 시스템(Sulfuric Peroxide Mixture system, SPM) 장비를 출시했다. 이 장비는 첨단 로직, DRAM, 3D-NAND 칩, 기타 집적 회로 제조의 습식 세정 및 식각(etching) 공정에 널리 사용할 수 있으며 특히 고용량 이온을 활용한 포토레지스트 제거 공정과 금속 식각 및 스트립 공정에 적합하다. 이 제품은 기존 ACM리서치의 SPM 공정 제품을 확장한 것으로 10nm 이하의 첨단 공정에서 고온의 단계를 추가해 더욱 다양하고 세밀한 온도 단계를 지원한다. 이번에 개발한 싱글SPM 장비는 당사의 Ultra C Tahoe 장비를 기반으로 한다. 기존 Ultra C Tahoe 장비는 정상 온도에서 대부분의 SPM 공정단계를 지원하고 있으며, 이번 장비는 거기에 고온 SPM의 공정능력을 추가했다. 오늘날 대부분의 SPM 습식 공정은 145°C 미만의 황산 및 과산화수소를 혼합하며 PR 제거 및 식각 후 세정 공정, 중간 용량의 이온 주입 및 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 후 세정 공정에 널리 사용된다. 2018년에 소
[헬로티] 중국이 미국의 반도체 수급 제한 규제에 직면해 자체 기술을 통한 돌파를 강조하는 가운데, 중국 정부가 반도체 업체를 위한 수입 관세 면제 조치를 발표했다. ▲출처 : 게티이미지뱅크 중국 재정부는 29일 해관총서·세무총국과 함께 이러한 내용의 '집적회로산업 및 소프트웨어산업 발전 지원과 관련한 수입 관세 정책 통지'를 발표했다. 이번 조치는 집적회로 선폭이 65nm 이하인 논리회로나 메모리 생산업체, 무선주파수 등 특수기술을 이용한 집적회로 가운데 선폭이 0.25㎛보다 작은 제품을 생산하는 기업 등이 대상이다. 이들 기업이 중국 내에서 생산할 수 없거나 중국산의 성능이 요구 조건을 충족하지 못하는 원자재와 소모재, 무균실 전용 건축자재, 부대 시스템 및 집적회로 생산 설비부품 등을 수입할 경우 세제 혜택을 받을 수 있다. 이 조치는 지난해 7월 27일 수입분부터 소급적용되며, 2030년 연말까지 이어질 예정이다. 중국은 '14차 5개년 계획 및 2035년까지의 장기 목표 강요' 초안에서 반도체 등 집적회로를 7대 중점 과학기술 연구 항목에 포함하는 등 반도체 산업 발전 의지를 보이고 있다. 중국 정부는 2025년까지 자국 반도체 자급률을
[첨단 헬로티] 맥심 인터그레이티드 코리아가 새롭게 확장된 디지털 입력 집적회로(IC) 제품군을 발표했다. 이 제품군은 ‘MAX22192’가 추가 통합돼 크기·전력·성능 조건과 같은 인더스트리 4.0 관련 과제를 해결한다. 제조업이 점차 자동화되면서 실시간 의사 결정과 피드백 루프(Feedback-loop) 메커니즘에 대한 필요성이 더욱 증가하고 있다. 지능형 인더스트리 4.0 시스템은 온·오프 상태 신호를 받기 위해 PLC(Programmable Logic Controller) 내부에 디지털 입력 IC가 필요하다. 따라서 디지털 입력 IC는 제조 환경 전반적으로 용이한 통합을 위해 소형화, 고성능, 견고성 요건을 갖춰야 한다. 맥심의 IEC61131-2-컴플라이언트(compliant) 디지털 입력 디바이스 포트폴리오는 업계 최소형 솔루션으로 풋프린트가 경쟁 솔루션 대비 절반 크기 밖에 되지 않는다. 초소형 풋프린트의 PLC에 강력한 기능이 추가돼 적응형(adaptive) 제조를 강화하고 경쟁 솔루션보다 6배 빠른 속도로 디지털 입력을 가능하게 한다. 이 제품군에는 별도의 절연 전력 공급 없이도 기생
[첨단 헬로티] KLA-텐코(KLA-Tencor Corporation) 은 집적회로(Integrated Circuit, IC) 패키징이 겪는 다양한 문제를 해결하기 위해 설계된 두 종류의 새로운 결함 검사 제품을 발표했다. Kronos 1080 시스템은 공정 관리 및 재료 특성을 위한 핵심 정보를 제공하는 고급 패키징을 위해 생산성이 높은 고감도 웨이퍼 검사 솔루션을제공한다. ICOS F160 시스템은 웨이퍼 다이싱 후에 패키지를 검사하며, 측면 균열, 하이 엔드 패키지 수율에 영향을 미치는 새로운 결함 유형과, 주요 결함 유형을 감지해 신속하고 정확한 다이 정렬을 제공한다. 이 두 가지 새로운 검사 시스템은 KLA-텐코의 결함 검사, 계측 및 데이터 분석 시스템 포트폴리오에 추가되어 패키징 수율을 가속화하고 다이 정렬의 정확성을 높인다. KLA-Tencor의 수석 부사장 겸 최고 마케팅 책임자인 오레스테 돈젤라(Oreste Donzella)는 “칩 스케일링이 느려짐에 따라 칩 패키징 기술의 발전이 디바이스 성능을 향상시키는 도구가 됐다” 라며 “패키지 칩은 다양한 디바이스 애플리케이션을 위한 디바이스 성능, 전력 소비, 폼
실리콘밸리에 본사를 둔 맥심 인터그레이티드의 집적회로(IC) 제품들이 개발 엔지니어 및 전자부품 구매자를 대상으로 한 최초의 정보 포털이자 협업 커뮤니티 및 온라인 전자부품 쇼핑몰 엘리먼트14(http://kr.element14.com/)의 프랜차이즈에 추가된다. 맥심과의 유통계약을 통한 이번 추가로 엘리먼트14는 연구 및 설계 용도에 적합한 다양한 IC를 갖추게 된다. 전력관리용 IC를 전문으로 하는 맥심은 고성능 아날로그 및 혼합신호 엔지니어링 솔루션을 제공한다. 또한 맥심의 아날로그 통합 기능은 자연스러운 기능성과 다양한 설계 기능을 제공하여 폭넓은 기술 및 프로젝트를 위한 손쉬운 설치와 다목적성이 특징이다. 주요 용도로는 산업용 시스템, 의료기기, 데이터센터 내 장비 및 모바일 기기와 자동차 등이 있다. 이번 계약은 장기적인 제품군 강화를 목적으로 한 양사간 노력을 촉진시키는 계기가 될 것으로 전망되고 있다. 또한 엘리먼트14는 제품 익일 배송 등의 고객 지원 서비스로 프로토타입 제작 및 초기 설계를 지원한다. 맥심에서 Business Operations 부사장을 맡고 있는 알리 모르타자비(Ali Mortazavi)은 “프리미어 파넬(Pre
TI는 새로운 자기 감지 집적회로(DRV421)를 출시한다고 밝혔다. DRV421은 필요한 모든 신호 컨디셔닝 회로와 함께 플럭스게이트(Fluxgate) 센서 및 보상 코일 드라이버를 완전히 통합했다. 그리고 완전 통합으로 우수한 센서 정확도 및 선형성, 높은 신호입력 범위를 제공하며, 기존 폐루프 센서보다 시스템 설계를 더욱 간소화할 수 있다. 또한 시스템 개발자는 DRV421을 이용하여 모터 제어, 재생 가능 에너지, 배터리 충전 IC, 전원 모니터링과 같은 애플리케이션을 위한 자기 폐루프 전류 센서를 보다 손쉽게 개발할 수 있다. DRV421 평가 모듈(DRV421EVM)은 개발자가 새로운 전류 감지 IC의 기능과 성능을 보다 빠르고 쉽게 평가할 수 있도록 한다. 평가 모듈은 TI store 및 TI 공인 대리점에서 49달러에 구입할 수 있다. 이 밖에 수미다 코퍼레이션(SUMIDA CORPORATION)은 시스템 설계자가 인쇄회로기판(PCB) 부품으로서 DRV421 위에 놓을 수 있는 자기 모듈 SC2912를 출시했다. 이것은 엔지니어가 특정 용도에 적합한 자기 모듈을 선택하면서 넓은 범위의 전류 레벨을 겨냥한 범용 플랫폼 솔루션을 설계할 수 있게
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