일반뉴스 국내 중소기업, 메모리반도체용 핵심 소재 기술자립 성공

[첨단 헬로티] 국내 중소기업이 반도체 공공테스트베드인 나노종합기술원과 공동연구를 통해 메모리반도체용 핵심소재의 기술자립에 성공했다. 국내중소기업(DCT 머티리얼)과 나노종합기술원이 공동연구를 수행, 현재 수입에 의존 하고 있는 ‘고(高)종횡비 구조의 메모리반도체용 스핀코팅 하드마스크 소재’의 기술자립에 성공했다고 과학기술정보통신부(이하 ‘과기정통부’)는 밝혔다. 이번에 개발된 소재는 기존 제품보다 평탄화 특성은 물론, 가격경쟁력도 우수하여 그동안 일본 등 외국에 의존했던 메모리반도체용 하드마스크소재의 국산 대체가 가능해질 전망이다. 글로벌 반도체 기업들이 고집적·초미세화 공정을 적용한 반도체 소자를 생산하면서, 기존보다 개선된 성능과 새로운 특성의 하드마스크에 대한 수요가 증가하고 있고, 글로벌 시장 규모도 지속적으로 확대되고 있다. 한편, 하드마스크 1세대 공정이 미세화 한계에 도달하면서, 2세대 공정 개발이 전 세계적으로 활발하게 진행되었지만, 국내 중소 소재기업이 활용하는 반도체소재 생산장비는 반도체 최종 생산기업이 보유하고 있는 장비에 비하여 노후화 되어 양산 제품 검증요건을 충족시키기 어려웠다

• 임근난 기자
• 2020-02-12 16:37