산업동향 나노시스템, 초정밀 측정 장비 ‘NV 시리즈’로 부품소재 품질력 향상

[첨단 헬로티] 나노시스템이 지난 4월 24일부터 26일까지 고양 킨텍스에서 개최된 <2018 국제전자회로 및 실장산업전(KPCAshow)>에 참가해 다양한 기능의 초정밀 측정 장비 NV 시리즈를 공개해 주목받았다. 나노시스템은 반도체, 디스플레이, 광통신부품 초정밀 미세가공 등의 각종 부품소재의 3차원 초정밀 측정, 검사 장비 전문 기업이다. 특히 우수한 기술력과 더불어 국내 기업인 만큼 가격 경쟁력과 빠른 에프터서비스(AS)를 강점으로 내세우고 있다. 이번 전시회에서 나노시스템이 주력으로 소개하고 있는 NV 시리즈는 마이크로 이하 나노미터까지 측정할 수 있는 초정밀 장비다. 특히 나노시스템 고유의 특허인 백색광주사간섭계 WSI(White Light Interferometry)와 알고리즘으로 개발된 점이 특징이다. WSI 기술은 높은 분해능(0.1nm)과 빠른 속도(2초)로 모든 표면을 샘플을 훼손하지 않고 비파괴로 0.1nm부터 10000µm까지 측정할 수 있고, 2/3D형상으로 측정 결과를 볼 수 있다. 또 제품 마다 광위상간섭계 PSI(Phase Shifting Interferometry) 방식을 선택할 수 있는데, 이 기술은 0

• 이나리 기자
• 2018-05-04 15:47