일반뉴스 초순수 국산화 기술개발로 반도체 산업 경쟁력 키운다

헬로티 서재창 기자 | 환경부는 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발' 사업에 착수하고, 이를 통해 반도체 사업의 필수원료인 초순수의 생산기술 국산화를 본격적으로 추진한다고 밝혔다. '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발'은 지난 2019년 일본의 수출규제에 대응하기 위한 조치 중 하나로 추진됐으며, 국산기술을 활용해 반도체 공정 등에서 사용되는 고순도 공업용수를 생산 및 공급하는 R&D 사업이다. 초순수(Ultra Pure Water)는 수 백개의 반도체 생산 단위공정 중에 나오는 부산물, 오염물 등을 세정할 때 쓰이는 필수 공업용수로 초미세회로(nano meter, 10-9m)로 구성된 반도체를 세척해야 하기에 총유기탄소량(TOC)의 농도가 '10억 분의 1(ppb)' 이하일 정도로 고순도를 유지해야 한다. 그간 우리나라에서는 반도체 사용 용수의 약 50%를 차지하는 초순수 공업용수의 생산·공급을 일본 등 해외업체에 의존했으며, 특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등을 일본에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다. 환경부는 올해부터 고순도 공업용

• 서재창 기자
• 2021-07-14 15:24