[첨단 헬로티] 일본 교리츠(KYORITSU) 제품의 한국 총판을 담당하는 세진계기(대표 고영균)가 에너지플러스 2019에 참가해 저항성 누설전류계 ‘KEW 5050SE’를 비롯해 ‘절연/도통 테스터’, ‘고압 절연 저항계’ 등의 신제품을 전시했다. 저항성 누설전류계 ‘KEW 5050SE’는 대지저항성분 누설전류(Ior), 누설전류(Io), 누설전류실효값(Iom), 기준전압(V), 기준전압 실효값(Vm), 절연저항값(R), 주파수(Hz) 등을 측정하는 전류계다. ▲ 세진계기가 에너지플러스 2019에 참가해 교리츠의 계측, 측정 장비 등을 선보였다. <사진 : 김동원 기자> 이 제품은 FFT(고속 푸리에 변환)을 활용한 측정 방식과 빠른 응답 속도의 로깅 및 분석 기능을 갖추고 있다. 활성 상태에서 절연저항값을 산출할 수 있고, 최대 4계통을 동시에 측정할 수 있다. 또한, 단상 2선부터 3상 4선에 이르기까지 다양한 결선 방식에 대응이 가능하고, SD카드나 USB 통신으로 데이터를 PC로 전송해 엑셀에서도 데이터를 해석할 수 있다. 세진계기 관계자는 “
[첨단 헬로티] 한국표준과학연구원(이하 KRISS)이 반도체의 대표적 품질 문제인 누설전류를 사전에 파악할 수 있는 공정 기준을 새롭게 제시했다. 나노구조측정센터 신채호 책임연구원팀은 박막층이 겹겹이 쌓인 다층 반도체에서 하부층이 상부층에 영향을 주는 ‘임계 거칠기(Critical roughness, CR)’ 지점을 최초로 정의하는 데 성공했다. 연구팀이 제시한 임계 거칠기는 실제 반도체 양산 측정 장비를 통해 검증을 진행했으며, 새로운 산업 표준으로서 반도체의 생산성을 향상시킬 것으로 전망된다. 모바일기기, 사물인터넷, 인공지능 등의 첨단산업이 성장함에 따라 이들 기술의 핵심에 있는 반도체 또한 진화를 거듭하고 있다. 특히 제한된 2차원의 공간에 박막층을 쌓는 다층 구조가 탄생하면서 반도체는 초고속화·대용량화의 한계를 뛰어넘게 되었다. 차세대 반도체의 수요가 급증하면서 산업에서는 불량률을 줄이고 생산성을 올리려는 노력이 계속됐다. 하지만 지금까지의 공정에서는 다층 반도체의 두께 측정만 관리돼왔다. 누설전류와 같이 박막층 사이 표면의 문제로 발생하는 품질 문제는 제작 단계에서 파악할 수 없었던 것이다. 제작 단계에서부터 반도