[첨단 헬로티]

모션 제어 및 시스템 솔루션 전문기업 애니모션텍이 1월 23일부터 25일까지 3일간 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘코리아(Semicon Korea) 2019’에 참가한다.

‘세미콘코리아 2019’은 국내외 반도체 재료 및 장비 업체들이 참여하는 최대 규모의 전시회이다. 주최측인 SEMI에 따르면, 올해에는 500여 개 업체가 참가하고, 4만여 명의 업계 관계자가 자리할 것으로 내다봤다.

▲ 애니모션텍이 ‘세미콘코리아 2019’에서 선보일 주력제품

애니모션텍은 반도체 및 기타 정밀 검사 측정, 레이저 Application 등의 분야에 활용도가 높은 에어로텍(AEROTECH)만의 독특한 기능인 IFOV 기능(스테이지, 스캐너 연동 기능) 및 PSO 기능(스테이지 위치 기반 트리거 기능)을 구현한 데모 장비를 전시한다.

또한, 다양한 분야에 적용 가능한 고성능 모션 컨트롤러, 초정밀 스테이지, AGV 신규 라인업을 선보일 계획이다.

PSO 기능은 속도 변화에 따른 엔코더 위치를 기반으로, 원하는 거리에서 펄스를 트리거하는 기능이며, IFOV(Infinite Field of View) 기능은 스테이지의 엔코더 값을 기반으로 스캐너와 동기하여 Galvo의 FOV 보다 큰 영역을 연속 가공할 수 있는 기능을 말한다.

애니모션텍 관계자는 “반도체 업계에 활용도가 높은 에어로텍의 장비를 선보일 계획”이라며, “이번 전시회에 선보이는 장비를 통하면, 반도체 공정 및 레이저 응용 분야에 높은 생산성과 만족도를 제공할 수 있다”며 고 말했다.